| 摘要 |
<p><P>Dans un dispositif selon l'invention, une boîte de transport (1) peut être accouplée à l'ouverture de passage (11) d'un appareil de traitement (9), de manière étanche par interposition d'un joint périphérique d'interface (16). La porte de boîte (4) peut être solidarisée sélectivement à la porte d'interface (12) pour un déplacement en bloc selon un mouvement axial suivi d'un mouvement transversal, entraînée par des moyens d'actionnement de porte (14). La boîte de transport (1) est retenue par un moyen de retenue (15). Le volume périphérique (21) autour des deux portes peut être pompé par une pompe (22) et une canalisation (23). Sur la boîte de transport (1), la porte de boîte (4) peut être verrouillée par des moyens de verrouillage (20), assurant une bonne étanchéité pendant que la boîte de transport (1) est à l'écart de l'appareil de traitement (9).On assure ainsi une bonne étanchéité de la boîte de transport (1), et on permet l'ouverture sous vide des portes (4, 12) sans pollution de l'atmosphère intérieure.</P></p> |
