发明名称 SLURRY FOR POLISHING AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND METHOD OF POLISHING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 KR20060019072(A) 申请公布日期 2006.03.03
申请号 KR20040067536 申请日期 2004.08.26
申请人 K.C.TECH CO., LTD.;HANYANG HAK WON CO., LTD. 发明人 KIM, DAE HYUNG;HONG, SEOK MIN;JEON, JAE HYUN;KIM, YONG KUK;PARK, JEA GUN;PAIK, UN GYU
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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