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发明名称
A apparatus for caching residual products in semiconductor device
摘要
申请公布号
KR100555385(B1)
申请公布日期
2006.03.03
申请号
KR20040007479
申请日期
2004.02.05
申请人
发明人
分类号
H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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