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发明名称 ORIENTER CHAMBER FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060019247(A) 申请公布日期 2006.03.03
申请号 KR20040067812 申请日期 2004.08.27
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 GIM, NAM GOOK
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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