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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT FOR DIFFUSION PROCESS
摘要
申请公布号 KR20060019065(A) 申请公布日期 2006.03.03
申请号 KR20040067525 申请日期 2004.08.26
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KWAK, SE KEUN
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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