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发明名称
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摘要
申请公布号
KR100555713(B1)
申请公布日期
2006.03.03
申请号
KR20040033601
申请日期
2004.05.12
申请人
发明人
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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