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经营范围
发明名称
Ether, Polymer, Resist Composition and Patterning Process
摘要
申请公布号
KR100555287(B1)
申请公布日期
2006.03.03
申请号
KR20020002451
申请日期
2002.01.16
申请人
发明人
分类号
G03F7/027;C07C43/178;C07C69/00;C07C69/007;C08F232/08;G03F7/004
主分类号
G03F7/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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