发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060018322(A) 申请公布日期 2006.03.02
申请号 KR20040066646 申请日期 2004.08.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YANG, BYUNG DUK;LIM, DO GI
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
地址