发明名称 Verfahren zur Lagebestimmung von Bauelementträgern
摘要
申请公布号 DE10339559(B4) 申请公布日期 2006.03.02
申请号 DE2003139559 申请日期 2003.08.26
申请人 W.C. HERAEUS GMBH 发明人 HARTMANN, HORST;KOLODZEI, GUENTER;RABE, MICHAEL
分类号 H01L21/58;H01L23/498;H01L23/544 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
主权项
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