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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Leistungshalbleiterbauelementen
摘要
申请公布号 DE59912665(D1) 申请公布日期 2006.03.02
申请号 DE19995012665 申请日期 1999.06.24
申请人 SEMIKRON ELEKTRONIK GMBH & CO. KG 发明人 HERZER, DR. HABIL.;NETZEL, DR.
分类号 H01L21/329;H01L21/331;H01L21/332 主分类号 H01L21/329
代理机构 代理人
主权项
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