| 发明名称 |
METHOD OF ANALYZING CONTAMINANT, DEVICE THEREFOR, AND CLEAN ROOM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1090240(A) |
申请公布日期 |
1998.04.10 |
| 申请号 |
JP19960240636 |
申请日期 |
1996.09.11 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KOZUKA SHOJI;SAKAI KIMITO;NAKAYAMA KUMIKO;YOSHIDA TAKASHI;TATEBE TETSUYA |
| 分类号 |
G01N1/28;G01N27/06;G01N30/00;G01N30/88;(IPC1-7):G01N30/00 |
主分类号 |
G01N1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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