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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS WITH AUTOMATIC CARRIER SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20060018454(A) 申请公布日期 2006.03.02
申请号 KR20040066820 申请日期 2004.08.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, JIN SUN
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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