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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR SUPPLYING CLEANING LIQUID TO SUBSTRATE
摘要
申请公布号
KR20060018422(A)
申请公布日期
2006.03.02
申请号
KR20040066781
申请日期
2004.08.24
申请人
SEMES CO., LTD.
发明人
CHOI, YONG NAM;BAE, JEONG YONG
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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