APPARATUS AND METHOD FOR THIN FILM DEPOSITION,申请号KR20040106963-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS AND METHOD FOR THIN FILM DEPOSITION
摘要
申请公布号	KR100558922(B1)	申请公布日期	2006.03.02
申请号	KR20040106963	申请日期	2004.12.16
申请人	FUSIONAID CO., LTD.	发明人	BAEK, YONG KU;LEE, SEUNG HOON
分类号	H01L21/20	主分类号	H01L21/20
代理机构		代理人
主权项
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