| 发明名称 |
SPIEGELPROJEKTIONSSYSTEM FÜR EINEN LITHOGRAPHISCHEN ABTAST-PROJEKTIONSAPPARAT SOWIE LITHOGRAPHISCHER APPARAT MIT EINEN SOLCHEN SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69922132(T2) |
申请公布日期 |
2006.03.02 |
| 申请号 |
DE19996022132T |
申请日期 |
1999.04.26 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN |
发明人 |
BRAAT, J. |
| 分类号 |
G02B17/00;G02B17/06;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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