Verfahren zum Herstellen von elektrischen Bauteilen

摘要

Es wird ein Verfahren zum Herstellen von elektrischen Bauteilen angegeben, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: Ausbilden eines Photoresists auf einem Teil der Oberfläche eines Substrats, Ausbilden einer Metallschicht auf der Oberfläche des Substrats, nachdem das Photoresist ausgebildet wurde; Entfernen eines Teils der Metallschicht; Entfernen eines Metalloxidfilms, der sich beim Entfernen eines Teils der Metallschicht auf der Oberfläche der Metallschicht gebildet hat; und Entfernen des Photoresists. Durch dieses Verfahren kann der Kontaktwiderstand auf den Oberflächen der elektrischen Bauteile vermindert werden.