ELECTRO STATIC CHUCK FOR CHUCKING A WAFER,申请号KR20040066668-传众专利搜索

发明名称	ELECTRO STATIC CHUCK FOR CHUCKING A WAFER
摘要
申请公布号	KR20060018338(A)	申请公布日期	2006.03.02
申请号	KR20040066668	申请日期	2004.08.24
申请人	DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC.	发明人	PARK, SANG HYUK
分类号	H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
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