| 发明名称 |
Herstellungsverfahren für eine Ausrichtungsmarkierung und Struktur mit einer solchen Markierung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69829803(T2) |
申请公布日期 |
2006.03.02 |
| 申请号 |
DE1998629803T |
申请日期 |
1998.06.22 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC INDUSTRY CO., LTD. |
发明人 |
OHTAKA, SHIRO |
| 分类号 |
G03F9/00;H01L21/027;H01L23/544 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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