| 发明名称 |
Verfahren zum Trennen einer Verbindung zwischen scheibenförmigen Gegenständen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10207558(B4) |
申请公布日期 |
2006.03.02 |
| 申请号 |
DE20021007558 |
申请日期 |
2002.02.22 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KROENER, FRIEDRICH;KOBLINSKI, CARSTEN VON |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/311;H01L21/58;H01L21/86 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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