应用于积体电路孔洞图案的先进定向辅助图案

摘要

本发明是关于一种定向辅助图案，可以将微影图案从罩幕转印到积体电路上。该定向辅助图案不会呈现禁用间距现象，藉以为一孔洞图案提供一宽的微影制程窗。