浮动闸极式驻极体电容麦克风及其制造方法

摘要

本发明提供一种浮动闸极式驻极体电容麦克风及其制造方法。该浮动闸极式驻极体电容麦克风包含一可电性连结于一电路板上的基座，及一封装于该基座中的电容式麦克风晶片，该电容式麦克风晶片是利用二相间隔的导体层及一形成在此二导体层间的浮动闸极式驻极体形成电容，使当声能作用时电容对应变化，而可转换成电子讯号传输。该制造方法是利用半导体制程与微机电制程在矽基材上形成浮动闸极式驻极体电容的电容式麦克风晶片，再将此电容式麦克风晶片封装入一可电性连结于电子产品之电路板的基座中，完成浮动闸极式驻极体电容麦克风的制备。