重新定位基板载具的方法及设备

摘要

在第一态样中，提供一种重新定位由终端作用器提供的支撑的第一方法。该第一方法包括步骤：(1)使用终端作用器以藉由基材承载件的底部支撑基材承载件；(2)将基材承载件自终端作用器传送到中间支撑位置，其中中间支撑位置藉由基材承载件的底部支撑基材承载件；(3)接近基材承载件的架空传送凸缘重新定位终端作用器；(4)使用终端作用器以藉由基材承载件的架空传送凸缘支撑基材承载件；和(5)自中间支撑位置传送基材承载件。本发明亦提供很多其他的态样。