| 摘要 |
一种用干涉术获取与一物件上或一物件中之点相关联的特性测量值的方法，本方法包含：接收一在时间上分隔的M个光学脉冲之序列；自该M个光学脉冲之序列中之每一脉冲，产生n–连波测量脉冲及n–连波参考脉冲，其中每一测量脉冲均具有一与其在时间上对准的对应参考脉冲；自该M个光学脉冲之序列之每一n–连波参考脉冲中之每一脉冲，产生一参考光束；自该M个光学脉冲之序列之每一n–连波测量脉冲中之每一脉冲，(a)产生一测量光束；(b)将该测量光束导引至该点上，藉此产生自该点返回之返回测量光束；及(c)将该返回测量光束与自对应于该测量脉冲之参考脉冲所获得之对应参考光束组合以产生一干涉光束，其中该M个n–连波测量脉冲之序列形成M个测量脉冲之n个交错序列，且其中本方法更包括：为M个测量脉冲之该等n个交错序列中之每一序列，在测量光束与对应参考光束之间引入相移组合。 |
