| 摘要 |
本发明六自由度微/奈未定位平台以线性马达结合楔形机构定位一水平运动平台(XZ轴平面)，该水平运动平台上加一精密旋转伺服平台以控制垂直旋转轴(θy)，该精密旋转伺服平台上安装一三自由度并联式机构(θx、θz和Y轴)，俾使该六自由度徵/奈米定位平台具有六个运动自由度；其中使用并联式机构可使本发明平台有较大之承载能力，使用水平运动平台、旋转伺服平台及并联式机构之串联式结构可使本发明平台能有足够之运动范围，使用线性马达可使水平运动平台具有高速的定位速度，而利用楔形机构则可使水平运动平台会有更高的定位精度。 |
