用于与电浆处理室连接之固定阻抗传送网路的设备及方法

摘要

在特定实施例中，提供用于驱动电浆室的固定阻抗转换网路之装置包括：一适于在主动式RF匹配网路和一与电浆室相连的电浆室负载之间连接的预匹配网路。该预匹配网路包括：(1)第一电容性元件；(2)与第一电容性元件并联以形成并联电路的电感性元件，其对主动式RF匹配网路的输出呈现步进阻抗，以使驱动电浆室负载所需的电压减小；和(3)连接并联电路和适于连接电浆室负载的第二电容性元件。第二电容性的元件至少部分减小或消除了对应于与电浆室负载相连的电感的电抗。本发明亦提供多个其他的实施例。