薄膜电池、薄膜电池之负极薄膜及其制法

摘要

本发明之薄膜电池阴极薄膜之制法，系先制备一可提供Li及Ti离子之靶材，以及一具有一基层，一缓冲层及一贵金属集电层之基板。于真空腔中以高温在基板上溅镀LiMO层，而完成本发明之薄膜电池负极薄膜。在本发明中，该贵金属集电层可为银、金、铂等贵金属，其合金或氧化物。溅镀温度可为300℃以上，较佳为500℃以上，最佳为650℃以上。所形成之负极薄膜材料可为Li4Ti5O12。本发明并揭示以此方法制成之负极薄膜及利用该负极薄膜制成之薄膜电池。