化学气相沈积设备及其炉管承载结构

摘要

一种化学气相沈积设备，包括外炉管、内炉管以及一炉管承载结构。炉管承载结构具有一承载座及承载环，承载座具有一筒状本体，其中外炉管系置于筒状本体之一端；承载环以可分离之方式设置于筒状本体内侧，而承载环具有一端面及一内环面，端面与内环面之夹角为锐角。