具有间隔层之步阶尖式接面

摘要

本发明之实施例提供了位于一电晶体的一源极／汲极区与一闸极之间的一步阶尖式接面区。在某些实施例中，该电晶体的一间隔物包含一尖式接面间隔层及一源极／汲极间隔层。