摘要 |
本发明涉及一种用来研磨显示装置之薄板玻璃或光刻掩模板(blank mask)、显像管荫罩(shadow mask)等厚板玻璃之研磨装置及研磨系统,其包括:一研磨架;一下部顶板,其以可脱离方式与上述研磨架相结合,且其上面设有粘附物;一上部顶板,其与该下部顶板之上面对向设置,其在对向于该下部顶板之一面附着有研磨垫,且其内设有使研磨液通过之研磨液导管;一驱动装置,用以旋转上部顶板;一传送装置,用以传送该驱动装置;一研磨液供给装置,藉由该上部顶板之研磨液导管供给研磨液。本发明提供一种可研磨大型或具有较高厚度之玻璃,可有效地进行研磨之后玻璃基板之传送的玻璃研磨装置及研磨系统。 |