| 主权项 |
1.一种外观检查装置,其特征在于包含: 至少1个分光镜,其系接受行状平行光而将其分光 成第1行状平行光与第2行状平行光,并配置成可垂 直地将前述第1行状平行光照射于检查对象之表面 之行状区域; 第1影像感测器,其系接受前述第1行状平行光在前 述行状区域反射之第1反射光者; 至少1个反射镜,其系配置成可将前述第2行状平行 光倾斜地照射于前述检查对象之表面之行状区域 者;及 第2影像感测器,其系接受前述第2行状平行光在前 述行状区域反射之第2反射光者。 2.如请求项1之外观检查装置,其中 前述分光镜所接受之前述行状平行光系由接受来 自光源之光之第1透镜所产生者。 3.如请求项1之外观检查装置,其中 进一步包含第2透镜,其系在前述第1影像感测器接 受前述第1反射光之前,接受前述第1反射光者; 前述第1影像感测器系包含第3透镜; 前述第2透镜与前述第3透镜系构成焦阑透镜者。 4.如请求项1之外观检查装置,其中 进一步包含第4透镜,其系在前述第2影像感测器接 受前述第2反射光之前,接受前述第2反射光者; 前述第2影像感测器系包含第5透镜; 前述第4透镜与前述第5透镜系构成焦阑透镜者。 5.如请求项4之外观检查装置,其中 进一步包含光圈,其系在前述第2影像感测器接受 前述第2反射光之前,阻断前述第2反射光之一部分 者。 6.如请求项1之外观检查装置,其中 前述分光镜系设置1个; 前述分光镜所反射之光系前述第1行状平行光,透 过前述分光镜之光系前述第2行状平行光者。 7.如请求项1之外观检查装置,其中 前述分光镜系前述第1分光镜及前述第2分光镜等2 个; 前述第1分光镜所反射之光系被第2分光镜所接受, 透过前述第1分光镜系前述第2行状平行光; 前述第2分光镜所反射之光系前述第1行状平行光 者。 8.如请求项1之外观检查装置,其中 前述检查对象系光碟; 前述第1行状平行光与前述第2行状平行光系照射 于前述光碟之半径方向之1个前述行状区域; 前述第1影像感测器与前述第2影像感测器系分别 以行感测器所构成者。 9.如请求项8之外观检查装置,其中 进一步包含使前述光碟旋转之光碟驱动手段; 在前述第1影像感测器摄影所接受之前述第1反射 光,前述第2影像感测器摄影所接受之前述第2反射 光后,前述光碟驱动手段使前述光碟旋转,以便将 前述第1行状平行光与前述第2行状平行光照射于 前述光碟之相邻之行状区域者。 10.如请求项1之外观检查装置,其中 前述检查对象系带状之记录媒体; 前述第1行状平行光与前述第2行状平行光系照射 于垂直于前述记录媒体之长度方向之1个行状区域 ; 前述第1影像感测器及前述第2影像感测器系分别 由行感测器所构成者。 11.如请求项10之外观检查装置,其中 进一步包含送出前述记录媒体之送出手段; 在前述第1影像感测器摄影所接受之前述第1反射 光,前述第2影像感测器摄影所接受之前述第2反射 光后,前述送出手段使前述记录媒体移动,以便将 前述第1行状平行光与前述第2行状平行光照射于 前述记录媒体之相邻之行状区域者。 图式简单说明: 图1系用于说明外观检查之原理之立体图。 图2系表示以往之外观检查装置之构成之概略线图 。 图3系表示光碟与所照射之光之关系之概略线图。 图4A、4B、4C系表示使用光圈检出凹凸用之一连串 之动作之概略线图。 图5A、5B、5C系表示使用光圈检出凹凸用之一连串 之动作之概略线图。 图6系表示利用以往之外观检查装置检查缺陷时之 一态样之概略线图。 图7系表示利用以往之外观检查装置检查缺陷时之 另一态样之概略线图。 图8系表示利用以往之外观检查装置检查缺陷时之 又另一态样之概略线图。 图9系表示利用以往之外观检查装置检查缺陷时之 又另一态样之概略线图。 图10系表示利用以往之外观检查装置检查缺陷时 之又另一态样之概略线图。 图11系表示利用以往之外观检查装置检查缺陷时 之又另一态样之概略线图。 图12A、12B、12C系表示缺陷之大小如何形成CCD上之 光像之概略线图。 图13系表示本发明之第1实施型态之外观检查装置 之构成之概略线图。 图14系表示利用本发明之第1实施型态之外观检查 装置检查缺陷时之一态样之概略线图。 图15系表示利用本发明之第1实施型态之外观检查 装置检查缺陷时之另一态样之概略线图。 图16系表示本发明之第2实施型态之外观检查装置 之构成之概略线图。 |
