| 主权项 |
1.一种涂布装置,其包括: 一工作平台,其包括复数吹气孔及复数吸附孔; 一喷嘴涂布单元,其包括一光阻涂布喷嘴及一光阻 材料供应装置,该光阻涂布喷嘴位于该工作平台上 方,该光阻材料供应装置与光阻涂布喷嘴相连以提 供光阻材料。 2.如申请专利范围第1项所述之涂布装置,其中该复 数吹气孔及复数吸附孔等距离间隔分布。 3.如申请专利范围第1项所述之涂布装置,其中该光 阻涂布喷嘴固定于工作平台上方。 4.如申请专利范围第1项所述之涂布装置,其中该涂 布装置进一步包括拖曳装置。 5.如申请专利范围第4项所述之涂布装置,其中该拖 曳装置为吸附拖曳装置、钳或镊。 6.如申请专利范围第1项所述之涂布装置,其中该光 阻涂布喷嘴可于工作平台上方往复运动。 7.如申请专利范围第6项所述之涂布装置,其中该喷 嘴涂布单元进一步包括二支架,该二支架设置于工 作平台二侧,该光阻涂布喷嘴二端架设于该二支架 上。 8.如申请专利范围第7项所述之涂布装置,其中该喷 嘴涂布单元设有一驱动装置,驱动光阻涂布喷嘴于 二支架上作往复运动。 9.如申请专利范围第1项所述之涂布装置,其中该光 阻涂布喷嘴为刮刀式喷嘴。 10.一种涂布方法,其包括如下步骤: 提供一基板,藉由工作平台之复数吹气孔将基板悬 浮于工作平台上方,并藉由工作平台之复数吸附孔 使其处于稳定状态; 将光阻材料由一涂布喷嘴转变成带状光阻材料喷 涂于该基板上; 一端用拖曳之方式移动该基板,将光阻材料从一端 涂布至另一端。 11.如申请专利范围第10项所述之涂布方法,其中该 复数吹气孔及复数吸附孔等距离间隔分布。 12.如申请专利范围第10项所述之涂布方法,其中该 光阻涂布喷嘴为刮刀式喷嘴。 13.如申请专利范围第10项所述之涂布方法,其中光 阻材料由一光阻材料供应装置提供给光阻涂布喷 嘴。 14.如申请专利范围第10项所述之涂布方法,其中该 基板由吸附拖曳装置拖曳移动。 15.如申请专利范围第10项所述之涂布方法,其中该 基板由钳或镊拖曳移动。 16.一种涂布方法,其包括如下步骤: 提供一基板,藉由工作平台之复数吹气孔将基板悬 浮于工作平台上方,并藉由工作平台之复数吸附孔 使其处于稳定状态处于稳定状态; 光阻材料由一涂布喷嘴转变成带状光阻材料喷涂 于该基板上; 采用驱动装置驱动该涂布喷嘴,使得光阻材料于基 板上从一端涂布至另一端。 17.如申请专利范围第16项所述之涂布方法,其中该 复数吹气孔及复数吸附孔等距离间隔分布。 18.如申请专利范围第16项所述之涂布方法,其中该 光阻涂布喷嘴为刮刀式喷嘴。 19.如申请专利范围第16项所述之涂布方法,其中光 阻材料由一光阻材料供应装置提供给光阻涂布喷 嘴。 图式简单说明: 第一图系一种先前技术涂布装置之平面示意图。 第二图及第三图系第一图所示涂布装置之动作示 意图。 第四图系本发明涂布装置第一实施方式之立体示 意图。 第五图系第四图所示涂布装置之工作示意图。 第六图系本发明涂布装置第二实施方式之立体示 意图。 第七图系第六图所示涂布装置之工作示意图。 第八图系本发明涂布装置第三实施方式之立体示 意图。 |
