| 摘要 |
本发明之目的是提供灰阶罩幕及灰阶罩幕之制造方法，其具有使透光部、遮光部和半透光部在一方向依该顺序邻接之图案作为灰阶罩幕，可获得良好之半透光部之透过率分布，良好之与透光部邻接之遮光部的图案剖面形状，良好之透光部之图案精确度。本发明之解决手段系灰阶罩幕10，其具有由遮光部、透光部和半透光部构成之图案，上述图案具有使透光部、遮光部和半透光部在一方向依该顺序邻接之图案，上述遮光部叠层有：形成遮光部之遮光膜13a；和半透光膜12a，其形成在该遮光膜13a上之与上述透光部之邻接部之遮光部侧所希望余裕(margin)区域外之区域上。 |
