曝光装置

摘要

本发明提供对于扭转振动具高抵抗力及谐振频率之平台构件。依本发明可获得一平台构件，其具有蜂巢式构造体，该蜂巢式构造体具备四角柱状之空隙部，且构成该空隙部之壁系配置成对于扭转变形之方向成垂直。依本发明并可获得一包含该平台构件之曝光装置。平台构件之蜂巢式构造体以用陶瓷构成者较佳。