抑制光学元件表徵影像的不良影响之方法及机制

摘要

本发明关于使用聚焦透镜、投影透镜单元或类似物作为光学元件，在显像表面上形成物件影像的方法。物件影像系形成在显像表面上，同时以垂直光轴的方向，以该等透镜之中心为中心，旋转与透镜之厚度方向垂直的区段。