| 摘要 |
在一浸入式微影系统中，一可移动基底单元系由一基底与至少一光学元件，以及位于二者间的浸入液体而形成。该浸入液体与该光学元件随着该基底共同地移动。在曝光扫描期间，该基底单元的移动减低由扰动所产生的折射率扰动。在动态轴向补偿群组中的元件可以移动，以补偿由轴向对称的偏向所导致的像差，且该偏向系由于在该基底单元中该光学元件的移动所致。在该基底单元中由浸入液体所填入的空间可以被动态地控制，以提供适当的工作距离。假如该基底单元中的该光学元件具有光功率，则解析度与焦深皆可以提高。即使假如该光学元件不具光功率，则仍可以提高焦深。 |
