发明名称 光学元件量测装置
摘要 一种光学元件量测装置包含一基座、一第一反射组件、一第二反射组件、一第三反射组件以及一承载元件。基座具有第一至第六定位部;第一反射组件固设于第一定位部;承载元件承载光学元件,当执行校正程序时,第二与第三反射组件分别设置于第二与第四定位部,入射光束经由依序通过第一、第二与第三反射镜之V字型第一光路径而导入积分球,当执行测量程序时,第二与第三反射组件分别设置于第三与第五定位部,承载元件设置于第六定位部,入射光束经由依序通过第一反射镜、光学元件、第二与第三反射镜之N字型第二光路径而导入积分球。
申请公布号 TWI250270 申请公布日期 2006.03.01
申请号 TW093127078 申请日期 2004.09.07
申请人 精碟科技股份有限公司 发明人 徐振源;黄景宏;陈锡坤;方裕贤
分类号 G01M11/02;G01N21/55 主分类号 G01M11/02
代理机构 代理人 刘正格 台北市大同区重庆北路3段88号3楼之1
主权项 1.一种光学元件量测装置,系藉由反射一入射光束, 且导引该入射光束进入一积分球中,以量测一光学 元件之反射率,包含: 一基座,其系具有一第一定位部、一第二定位部、 一第三定位部、一第四定位部、一第五定位部以 及一第六定位部; 一第一反射组件,其系固设于该第一定位部并具有 一第一反射镜以及一第一站立元件,该第一反射镜 系装设于该第一站立元件; 一第二反射组件,其系具有一第二反射镜以及一第 二站立元件,该第二反射镜系装设于该第二站立元 件; 一第三反射组件,其系具有一第三反射镜以及一第 三站立元件,该第三反射镜系装设于该第三站立元 件;以及 一承载元件,其系用以承载该光学元件,其中,当该 光学元件量测装置执行一校正程序时,该第二反射 组件系设置于该第二定位部,该第三反射组件系设 置于该第四定位部,该入射光束系经由一依序通过 该第一反射镜、该第二反射镜与该第三反射镜之 第一光路径而导入该积分球,且该第一光路径系呈 一V字型,而当该光学元件量测装置执行一测量程 序时,该第二反射组件系设置于该第三定位部,该 第三反射组件系设置于该第五定位部,且该承载元 件系设置于该第六定位部,该入射光束系经由一依 序通过该第一反射镜、该光学元件、该第二反射 镜与该第三反射镜之第二光路径而导入该积分球, 且该第二光路径系呈一N字型。 2.如申请专利范围第1项所述之光学元件量测装置, 其中该第一定位部、该第二定位部、该第三定位 部、该第四定位部、该第五定位部与该第六定位 部系分别具有至少一限制元件,该等限制元件系分 别定位该第一反射组件、该第二反射组件、该第 三反射组件及该承载元件。 3.如申请专利范围第1项所述之光学元件量测装置, 其中该承载元件系具有一夹具,该夹具系具有一凹 槽,该光学元件之一边角系卡置于该凹槽中而夹设 于该承载元件上。 4.如申请专利范围第1项所述之光学元件量测装置, 其中该第一站立元件系具有一第一支撑部、一第 一抵制部以及一第一固定座,该第一支撑部系具有 一第一开口部,该第一开口部系卡置该第一反射镜 ,该第一抵制部系与该第一支撑部相对连接且固定 该第一反射镜,该第一固定座系与该第一支撑部相 连接且该第一固定座系固设于该第一定位部。 5.如申请专利范围第1项所述之光学元件量测装置, 其中该第二站立元件系具有一第二支撑部、一第 二抵制部以及一第二固定座,该第二支撑部系具有 一第二开口部,该第二开口部系卡置该第二反射镜 ,该第二抵制部系与该第二支撑部相对连接且固定 该第二反射镜,该第二固定座系与该第二支撑部相 连接且该第二固定座系设置于该第二定位部或该 第三定位部。 6.如申请专利范围第1项所述之光学元件量测装置, 其中该第三站立元件系具有一第三支撑部、一第 三抵制部以及一第三固定座,该第三支撑部系具有 一第三开口部,该第三开口部系卡置该第三反射镜 ,该第三抵制部系与该第三支撑部相对连接且固定 该第三反射镜,该第三固定座系与该第三支撑部相 连接且该第三固定座系设置于该第四定位部或该 第五定位部。 7.如申请专利范围第1项所述之光学元件量测装置, 其中该第一光路径之路径长度系与该第二光路径 之路径长度相等。 8.如申请专利范围第1项所述之光学元件量测装置, 其中该光学元件系为一高反射镜。 图式简单说明: 图1为一显示习知量测装置的示意图; 图2为一显示依本发明较佳实施例之光学元件量测 装置的示意图; 图3为一显示依本发明较佳实施例之光学元件量测 装置之基座的示意图; 图4为一显示依本发明较佳实施例之光学元件量测 装置之承载元件的示意图; 图5A为一显示依本发明较佳实施例之光学元件量 测装置之第一反射组件、第二反射组件与第三反 射组件的示意图; 图5B为一显示依本发明较佳实施例之光学元件量 测装置之另一种第一反射组件、第二反射组件与 第三反射组件的示意图; 图6A为一显示依本发明较佳实施例之光学元件量 测装置之校正程序具体实施的示意图; 图6B为一显示依本发明较佳实施例之光学元件量 测装置之测量程序具体实施的示意图; 图7A为一显示依本发明较佳实施例之光学元件量 测装置之5度入射角基座的示意图;以及 图7B为一显示依本发明较佳实施例之光学元件量 测装置之60度入射角基座的示意图。
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