光栅式光电自准直仪

摘要

一种光栅式光电自准直仪，标尺光栅(2)和指示光栅(6)共轭，标尺光栅(2)置于准直物镜(4)的焦平面上，指示光栅(6)置于准直物镜(4)的经分光镜(3)分束后的另一焦平面上，激光光源(1)发出的光照亮标尺光栅(2)，光线经准直物镜(4)准直并经平面反射镜(5)反射后成像于指示光栅(6)处。标尺光栅(2)的像与指示光栅(6)形成光栅副，通过该光栅副的周期性变化所产生的莫尔条纹反映被测物的小角度变化量。本发明可实现静动态角度测试，测量范围大、分辨力高，可广泛应用于工业生产过程的检测、角度计量器具的检定和高频角晃动的检测。

主权项

1、一种光栅式光电自准直仪，其特征在于：包括有激光光源(1)、标尺光栅(2)、分光镜(3)、准直物镜(4)、平面反射镜(5)、指示光栅(6)、光电接收元件(7)，标尺光栅(2)和指示光栅(6)共轭，标尺光栅(2)置于物镜的焦平面上，指示光栅(6)置于物镜的经分光镜(3)分束后的另一焦平面上，激光光源(1)发出的光照亮标尺光栅(2)，光线经准直物镜(4)准直并经平面反射镜(5)反射后成像于指示光栅(6)处，标尺光栅(2)的像与指示光栅(6)形成光栅副，通过该光栅副的周期性变化反映被测物的小角度变化量。