发明名称 应变沟道鳍片场效应晶体管
摘要 一种半导体结构,包括鳍片(205)和形成于该鳍片上的层(305)。该鳍片(205)包括具有矩形横剖面和许多表面的第一结晶材料。该层(305)形成于该等表面上并包括第二结晶材料。该第一结晶材料较的该第二结晶材料具有不同的晶格常数,以令该层(305)内产生张力应变。
申请公布号 CN1742375A 申请公布日期 2006.03.01
申请号 CN200480002593.X 申请日期 2004.01.15
申请人 先进微装置公司 发明人 S·达克什纳摩西;J·X·安;Z·克瑞沃卡皮奇;汪海宏;俞斌
分类号 H01L29/10(2006.01);H01L29/786(2006.01);H01L21/336(2006.01) 主分类号 H01L29/10(2006.01)
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 程伟
主权项 1.一种半导体装置,包括:鳍片(205),包括第一结晶体材料和多个表面;以及第一层(305),形成于该多个表面的至少一部分上,该第一层(305)包括第二结晶体材料,其中该第一结晶体材料较的该第二结晶体材料具有不同的晶格常数,以于该第一层内产生张力应变。
地址 美国加利福尼亚州
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