外封壳的制造方法及其制造装置

摘要

提供一种外封壳的制造方法及其制造装置。在通过夹着支撑框把一对基板密接来形成气密容器的方法中，在减压气氛中使一个基板在密接之前翘曲，由此与另一基板分离，在减压气氛中开放气密容器内部，由此进行排气。此后，通过恢复翘曲来恢复两基板间的相对位置。因此，不产生两基板相对位置的偏离就能够实现气密容器内部的排气。

主权项

1.一种外封壳的制造方法，通过在减压气氛中在其间夹着支撑框对一对基板的周缘部进行封接来形成气密容器，该方法的特征在于：具有在进行上述封接之前，在减压气氛中，使上述一对基板中的至少一个基板的上述周缘部翘曲以远离另一基板的工序。