具有集成载体监测和基于大量制造的载体管理系统的智能装载口

摘要

本发明公开了一种能够在装载口监测晶片载体的多个性能特征的系统以及一种用于在大量制造的基础上进行载体管理操作的系统。

主权项

1、一种用于监测具有可拆卸地连接到载体壳体上的载体门的载体的特征的装载口组件，该装载口组件包括：装载口门，其具有一对用来在载体壳体装、拆载体门的锁键，所述装载口门包括至少一个监测系统，该限监测系统是从由(i)扭矩测量系统和(ii)晶片高度测量系统组成的系统中选取的；载体前进板，用于在第一位置和第二位置之间移动载体，所述载体前进板包括至少一个监测系统，所述监测系统是从由(i)载体识别码阅读器、(ii)载体结构检测器、(iii)电阻率测量系统、(iv)清洁度测量系统、(v)密封件性能检测器以及(vi)相对湿度检测器组成的组中选出的。