| 发明名称 |
ETCHING AND FILM FORMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11204496(A) |
申请公布日期 |
1999.07.30 |
| 申请号 |
JP19980007662 |
申请日期 |
1998.01.19 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
AMANO MINORU;HIRAYAMA YUZO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/338;H01L27/15;H01L29/778;H01L29/812;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/306;H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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