钎焊氮化硅陶瓷的钎料及以该钎料连接氮化硅陶瓷的方法

摘要

钎焊氮化硅陶瓷的钎料及以该钎料连接氮化硅陶瓷的方法，它涉及一种钎焊材料和以该钎料连接氮化硅陶瓷的工艺。本发明的钎料由以下组分按照原子百分比组成：Cu 52.5～62.4％、Zn 27.5～32.6％、Ti 5～20％，连接氮化硅陶瓷的方法为：a.用金刚石砂轮盘将待焊Si₃N₄陶瓷试样的表面机械研磨；b.将研磨合格的Si₃N₄试样与钎料金属箔一同放入溶剂中超声波清洗；c.用有机胶将试样以Si₃N₄/钎料/Si₃N₄的形式固定在一起，放入钎焊炉中钎焊。本发明可以将小尺寸Si₃N₄陶瓷连接接头的室温剪切强度，由原来使用Cu-Ti钎料连接时的223MPa提高到275MPa，将连接强度提高了20％，而连接温度降低了100K。

主权项

1、钎焊氮化硅陶瓷的钎料，其特征在于它由以下组分按照原子百分比组成：Cu 52.5～62.4％、Zn 27.5～32.6％、Ti 5～20％。