与光电倍增管大光敏面匹配的大数值孔径的散射光聚光镜

摘要

一种与光电倍增管大光敏面匹配的大数值孔径的散射光聚光镜。本发明由第一平凸透镜和第二平凸透镜的凸面相对，并固定在套筒内而构成。所述的透镜采用高折射率材料制成。本发明散射光聚光镜应用于倾斜入射激光扫描散射检测中，具有工作距离长、数值孔径大、信噪比高而且结构简单、光损耗小、造价低等优点。并已经检测到硅片表面0.2微米的缺陷，其信噪比大于20。

主权项

1.一种与光电倍增管大光敏面匹配的大数值孔径散射光聚光镜，其特征在于它是由第一平凸透镜(7)和第二平凸透镜(9)的凸面相对，并固定在套筒(8)内而构成，所述的第一平凸透镜(7)的尺寸略小于第二平凸透镜(9)，第一平凸透镜(7)的直径为27～31mm，厚度为10～14mm，曲率半径为13～17mm；第二平凸透镜(9)的直径为30～34mm，厚度为14～18mm，曲率半径为16～20mm。