| 发明名称 | 拾取激光的截面图像的方法 | ||
| 摘要 | 将刃状物(30)设置在要拾取截面图像(光强度分布)的截面的高度处，以拦截激光(20)的部分截面。用激光(20)照射刃状物(30)，且激光的截面图像用图像形成光学系统(40)放大，并由CCD(50)拾取。当以这种方式拾取截面图像时，以在被刃状物(30)遮蔽的边界部分中的光强度的梯度具有不小于预置目标值的陡度的这种方式进行图像形成光学系统(40)的聚焦。接下来，从激光的光路缩回刃状物(30)，允许激光经由图像形成光学系统(40)进入CCD(50)，并拾取激光的截面图像。 | ||
| 申请公布号 | CN1740760A | 申请公布日期 | 2006.03.01 |
| 申请号 | CN200510096528.4 | 申请日期 | 2005.08.26 |
| 申请人 | 株式会社液晶先端技术开发中心 | 发明人 | 十文字正之;松村正清;谷口幸夫;平松雅人;小川裕之;秋田典孝 |
| 分类号 | G01J1/02(2006.01);G01J1/00(2006.01);H01S5/00(2006.01);H01L21/324(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01J1/02(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王英 |
| 主权项 | 1、一种在截面上拾取激光(20)的截面图像的方法，其特征包括如下步骤：相对于激光行进方向，在该截面的前面设置图像拾取装置(51)；在该截面处设置拦截单元(30)以拦截部分激光(20)；使用图像拾取装置(51)拾取表明部分被拦截单元(30)拦截的激光(20)的强度分布的光与影图像；调节图像拾取装置(51)的光学系统(40)的焦点，使所得到的光与影图像的图案满足预定的条件；以及从激光(20)的光路缩回拦截单元(30)，并利用图像拾取装置(51)拾取激光的该截面图像。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||