| 发明名称 | 多晶化方法、制造多晶硅薄膜晶体管的方法及用于该方法的激光辐照装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于将激光束辐照到非晶硅薄膜上的装置，该非晶硅薄膜形成在基片上。该装置包括平板，可安装基片；激光振荡器，用于产生激光束；投影透镜，用于将该激光束聚焦并引导到薄膜上；反射器，用于反射被引导到薄膜上的激光束；控制器，用于控制反射器的位置；以及吸收器，用于吸收通过反射器反射的激光束。 | ||
| 申请公布号 | CN1742360A | 申请公布日期 | 2006.03.01 |
| 申请号 | CN200380101946.7 | 申请日期 | 2003.10.21 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 姜明求;金县裁 |
| 分类号 | H01L21/20(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L29/786(2006.01);H01S3/10(2006.01);B23K26/02(2006.01);C23C16/24(2006.01);C23C16/48(2006.01) | 主分类号 | H01L21/20(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 李伟;彭焱 |
| 主权项 | 1.一种用于将激光束辐照到非晶硅薄膜上的装置，所述非晶硅薄膜形成在基片上，所述装置包括：平板，可安装所述基片；激光振荡器，用于产生激光束；投影透镜，用于将所述激光束聚焦并引导到所述薄膜上；反射器，用于反射被引导到所述薄膜上的激光束；控制器，用于控制所述反射器的位置；以及吸收器，用于吸收通过所述反射器反射的所述激光束。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||