发明名称 PROCEDIMIENTO PARA FABRICAR UN ANTICATODO TUBULAR.
摘要 Procedimiento para producir un anticátodo tubular para instalaciones de pulverización catódica, en donde el anticátodo tubular está formado por un tubo interior metálico (2) de un primer material con un primer punto de fusión TS1 de 900 K y por un tubo exterior metálico que circunda concéntricamente el tubo interior, de un segundo material con un segundo punto de fusión TS2 de = 800 K, y en donde el diámetro interior del tubo exterior se une fijamente con el diámetro exterior del tubo interior en unión positiva de forma y mecánicamente, caracterizado porque el tubo exterior se forma mediante colada del segundo material en estado fundido en una coquilla de fundición cilíndrica (1a), calentada y dispuesta verticalmente, en donde la coquilla de fundición presenta un mandril calentado que se forma a partir del tubo interior (2), y porque tras llenar un espacio entre la coquilla de fundición y el tubo interior con el segundo material fundido se configura un primer gradiente de temperatura entreel tubo interior y la coquilla de fundición, porque se configura un segundo gradiente de temperatura entre la cara inferior y la superior de la coquilla de fundición y porque el tubo exterior se enfría simultáneamente desde dentro hacia fuera y desde abajo hacia arriba.
申请公布号 ES2246980(T3) 申请公布日期 2006.03.01
申请号 ES20010128199T 申请日期 2001.11.28
申请人 W.C. HERAEUS GMBH 发明人 HECK, RALF;JUTTNER, RAINER;LUPTON, DAVID FRANCIS, DR.;MAIER, EGON;MAINZ, PETER;MANHARDT, HARALD
分类号 B22D19/16;C23C14/34 主分类号 B22D19/16
代理机构 代理人
主权项
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