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发明名称 A METHOD AND APPARATUS FOR ANALYSIS OF SEMICONDUCTOR MATERIALS USING PHOTOACOUSTIC SPECTROSCOPY TECHNIQUES
摘要
申请公布号 EP1629264(A1) 申请公布日期 2006.03.01
申请号 EP20040734332 申请日期 2004.05.21
申请人 DUBLIN CITY UNIVERSITY 发明人 LOWNEY, DONNACHA;MCNALLY, PATRICK;READER, ALEC
分类号 G01N21/17;(IPC1-7):G01N21/17 主分类号 G01N21/17
代理机构 代理人
主权项
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