衍射微光学元件实现半导体激光器面阵的光束整形方法

摘要

本发明提出了一种利用衍射微光学元件——二维闪耀光栅阵列(透射式)来对半导体激光器面阵的输出光束进行整形的方法。该方法首先根据激光器的特点及应用要求设计出闪耀光栅阵列的结构及参数，再利用二元光学加工工艺制作出所需器件，通过这两个器件对准直后的激光束进行重排变换，以实现快慢轴方向光参数积的对称化。该系统具有体积小、重量轻、集成性好等特点，克服了折、反射系统器件加工装调困难的缺点，结构简单，方便实用。

主权项

1、衍射微光学元件实现半导体激光器面阵的光束整形方法，其特征在于：(1)根据激光器的特点及应用要求设计两个闪耀光栅阵列的结构及参数；(2)利用二元光学加工工艺在石英基片上制作出所需器件，并镀上相应的增透膜；(3)将两个闪耀光栅阵列按设计的位置放于整形光路中，对光束进行重排变换，达到改变光参数积的目的。