超高真空闸板阀密封装置

摘要

本实用新型涉及一种应用在超高真空系统中的超高真空闸板阀密封装置，包括上、下阀板、驱动装置及阀体，阀体内设有阀板架，上、下阀板分别安装在阀板架的两侧，下阀板上开有导向槽，上、下阀板与阀板架相对的表面均开有雨点状凹槽，置有滚珠；阀板架上开有圆孔，圆孔的两侧设有限位轴承，阀板架的一端设有定位轴，另一端设有轴承，驱动装置经轴承与阀板架相连接，阀板架的两侧及连接上阀板的一面设有导向轴承，上、下阀板上均设有凹槽，凹槽上固接有挡杆，挡杆上连接有板簧，上、下阀板经定位轴通过板簧相连接；阀板架上在圆孔的外围均布有多个滚珠架，密封圈直接固接在上阀板的内圆周壁上。本实用新型具有良好的清洁性及真空度。

主权项

1.一种超高真空闸板阀密封装置，包括上阀板、下阀板、驱动装置及阀体，阀体内设有阀板架，上、下阀板分别安装在阀板架的两侧，上阀板内圆周壁设有密封圈，下阀板上开有导向槽，上、下阀板与阀板架相对的表面均开有雨点状凹槽，置有滚珠；阀板架上开有圆孔，圆孔的两侧设有限位下阀板的限位轴承，阀板架的一端设有定位轴，另一端设有轴承，驱动装置经轴承与阀板架相连接，阀板架的两侧及连接上阀板的一面设有导向轴承，上阀板及下阀板上均设有凹槽，凹槽上固接有挡杆，挡杆上连接有板簧，上阀板及下阀板经定位轴通过板簧相连接；阀板架上在圆孔的外围均布有多个滚珠架，其特征在于：所述密封圈(17)直接固接在上阀板(1)的内圆周壁上。