发明名称 A thin film semiconductor device and method of manufacture
摘要
申请公布号 EP0585125(B1) 申请公布日期 1999.12.29
申请号 EP19930306772 申请日期 1993.08.26
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC. 发明人 MATSUSHITA, KATSUKI;SENBONMATSU, SHIGERU;YAMAZAKI, TSUNEO;IWAKI, TADAO;TAKANO, RYUICHI
分类号 G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/76 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
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